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        飛行時間二次離子質譜儀的知識要點,一看便知

        發布時間:2020-10-31瀏覽:773次

               飛行時間二次離子質譜儀作為一種檢測材料的儀器。它是采用質譜技術分析表面原子層以確定表面元素組成和分子結構。其特點是高靈敏度和高分辨率。

          飛行時間二次離子質譜儀的基本結構:
          二次離子質譜儀視其應用之不同而有各種不同的型式,其基本構造可分為下列四大部分:
         ?。?)照射激發用的一次離子束的離子槍;
         ?。?)以能量選擇由試品產生的二次離子能量過濾器;
         ?。?)進行質量選擇的質譜儀;
         ?。?)放大、檢測經質量選擇後的二次離子檢測輸出信號。
          飛行時間二次離子質譜儀的原理:
          1.利用聚焦的一次離子束在樣品表面上進行穩定的轟擊,一次離子可能受到樣品表面的背散射,也有部分進入樣品表面,這部分離子把能量傳遞給晶格,當入射能量大于晶格對原子的束縛能是,部分原子脫離晶格向表面運動,并且產生原子間的級聯碰撞,當這一能量傳遞到表面,并且大于表面的束縛能時,促使表面原子脫離樣品,謂之濺射;
          2.上述一次離子引發的濺射大部分為中性原子或分子,也有少量荷電集團,包括帶電離子、分子、原子團,按照荷質比經過質譜分離;
          3.收集經過質譜分子的二次離子,可以得知樣品表面和體內的元素組成和分布。
          飛行時間二次離子質譜儀的應用很廣,偵測表面污染、氧化、還原、吸附、腐蝕、觸媒效應、表面處理等動態分析之表面研究工作,尤其可作微量元素分布,因此在材料、化學、物理、冶金及電子方面之發展,使用者很多。該產品不但可作表面及整體之分析,又可直接作影像觀察,其靈敏度及解析能力甚高,由較小的氫至原子量很大的元素均可偵測,尤其對于同位素的分析更是有效。

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